五軸激光微納加工設備 - 激光刻蝕設備|晶圓切割設備-蘇州德龍激光股份有限公司
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五軸激光微納加工設備

該設備是一套多維超快激光精細微加工系統,通過精密控制多維微位移系統的運動,實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。

設備型号:LMS-10,該設備是一套多維超快激光精細微加工系統,通過精密控制多維微位移系統的運動,實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。





采用多軸平台,可實現各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微納加工。
材料适應性強,對各類金屬、陶瓷、晶體、半導體以及高分子聚合材料進行超精細精密鑽孔、切割、蝕刻以及劃槽等微加工處理。







◆ 激光種類:超短脈沖激光
◆ 波長:1064nm,532nm,355nm(波段可選擇,可集成雙光路系統、三光路系統)
◆ X/Y/Z軸定位精度:±2um / ±2um / ±4um
◆ X/Y/Z軸重複定位精度:±1.5um / ±1.5um / ±3um
◆ A/B角度定位精度: 0.003° / 0.003°
◆ A/B角度重複定位精度:0.001° / 0.001°





加工效果示例圖:

  

       合金無錐度通孔加工

    

      脆性材料的微盲槽加工


   

        噴油嘴打孔3D微孔加工


     

  

          三維栅網加工